[发明专利]多波段可见光至近红外焦平面探测器的制备方法

摘要

一种多波段可见光至近红外的焦平面探测器的制备方法，包括：步骤1：在一InP衬底上依次生长牺牲层、N接触层、光吸收层和帽层；步骤2：从帽层的一侧向下刻蚀，刻蚀深度达到N接触层，便于电极引出；步骤3：在接触层和帽层上生长图形金属电极，并在电极上生长铟柱，得到探测器芯片；步骤4：取一个读出电路，将探测器芯片与读出电路倒扣，得到一个焦平面模块；步骤5：对焦平面模块的背面，去除衬底和牺牲层；步骤6：在N接触层上生长SiO₂介质膜，图形化制备多层分光透光膜，形成多波段可见光至近红外焦平面探测器。本发明具有工艺简单，产品成像速度快，成本低的优点，其解决了集成度低的问题。

主权项

1.一种多波段可见光至近红外的焦平面探测器的制备方法，包括如下步骤：步骤1：在一InP衬底1上依次生长牺牲层2、N接触层3、光吸收层4和帽层5；步骤2：从帽层5的一侧向下刻蚀，刻蚀深度达到N接触层3，便于电极引出；步骤3：在接触层3和帽层5上生长图形金属电极，并在电极上生长铟柱6，得到探测器芯片；步骤4：取一个读出电路7，将探测器芯片与读出电路7倒扣，得到一个焦平面模块；步骤5：对焦平面模块的背面，去除衬底1和牺牲层2；步骤6：在N接触层3上生长SiO2介质膜8，图形化制备多层分光透光膜9，形成多波段可见光至近红外焦平面探测器。