[发明专利]一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法有效
| 申请号： | 201810662940.5 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN108754423B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/28;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 张静尧 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法，涉及显示技术领域，用于解决沉积过程中如何快速疏通堵塞的喷嘴的问题。有机蒸汽沉积装置，包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头；所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器，所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间，所述激光器用于向所述喷嘴发射激光，所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 蒸汽 沉积 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种有机蒸汽沉积装置，其特征在于，包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头；所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器，所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间，所述激光器用于向所述喷嘴发射激光，所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。
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