[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201810663424.4 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN108924720B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;冷群文;王喆 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司;北京航空航天大学青岛研究院 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括第一衬底以及通过间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，第一衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；振膜、第一衬底中，其中一个设置了磁性薄膜，另一个上设置了与磁性薄膜配合的磁阻传感器，磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应磁性薄膜的磁场变化而输出变化的电信号。本发明的MEMS麦克风，提高了麦克风的信噪比，大大降低MEMS麦克风的整体尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括第一衬底以及通过间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，所述第一衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；振膜、第一衬底中，其中一个设置了磁性薄膜，另一个上设置了与磁性薄膜配合的磁阻传感器，所述磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应磁性薄膜的磁场变化而输出变化的电信号。
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