[发明专利]真空干燥设备有效
| 申请号： | 201810664750.7 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN108847457B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 黄辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;王中华 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空干燥设备。所述真空干燥设备包括腔体、间隔分布于所述腔体内的多个抽气口、与所述多个抽气口相连的抽气单元、设于所述腔体内的浓度传感器、以及连接所述浓度传感器和抽气单元的控制单元；所述腔体用于容置基板，所基板上设有待干燥成型的墨水，所述浓度传感器用于在所述墨水干燥成型的过程中感测各个抽气口处的墨水浓度，所述控制单元用于根据各个抽气口处的墨水浓度控制抽气单元改变各个抽气口处的抽气压力，使得各个抽气口处的墨水浓度一致，能够实时修正抽气压力，保证墨水挥发的均匀性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 干燥设备 | ||
【主权项】：
1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括腔体(10)、间隔分布于所述腔体内的多个抽气口(20)、与所述多个抽气口(20)相连的抽气单元(30)、设于所述腔体内的浓度传感器(40)以及电性连接所述浓度传感器(40)和抽气单元(30)的控制单元(50)；所述腔体(10)用于容置基板(100)，所述基板(100)上设有待干燥成型的墨水，所述浓度传感器(40)用于在所述墨水干燥成型的过程中感测各个抽气口(20)处的墨水浓度，所述控制单元(50)用于根据各个抽气口(20)处的墨水浓度控制抽气单元(30)改变各个抽气口(20)处的抽气压力，使得各个抽气口(20)处的墨水浓度一致。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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