[发明专利]一种柔性有源彩色显示模块生产方法

摘要

本发明公开了一种柔性有源彩色显示模块生产方法，包括以下步骤：制作三基色量子发光薄膜芯片；在柔性衬底上制作有源矩阵显示控制电路；沉淀一层表面粘合金属薄膜；将第一基色量子发光薄膜芯片粘合在有源矩阵显示控制电路上；选择性地刻蚀形成三基色量子发光像素阵列；并且分别选择性介质刻蚀打开对应于有源矩阵显示控制电路电极的空心孔阵列，填入导电金属形成铆钉式电极阵列，将表面平整；用透明介质填平表面，在第三基色量子发光像素阵列表面沉淀一层透明金属薄膜作为第三基色量子发光像素阵列通用电极。本发明提供了柔性有源彩色显示模块生产方法，能够生产制造柔性有源彩色显示模块，具有结构稳定以及性能优异的优点，且工艺实现难度较低。

主权项

1.一种柔性有源彩色显示模块生产方法，其特征在于，包括以下步骤：制作第一基色量子发光薄膜芯片；制作第二基色量子发光薄膜芯片；制作第三基色量子发光薄膜芯片；在柔性衬底上制作有源矩阵显示控制电路；在有源矩阵显示控制电路表面上沉淀一层表面粘合金属薄膜；将第一基色量子发光薄膜芯片粘合在有源矩阵显示控制电路上；将第一基色量子发光薄膜芯片的衬底剥离；在第一基色量子发光薄膜以及粘合金属薄膜上选择性地刻蚀形成第一基色量子发光像素阵列；用介质填平表面，选择性介质刻蚀打开对应于有源矩阵显示控制电路电极的空心孔阵列，填入导电金属形成铆钉式电极阵列，将表面平整；在第一基色量子发光像素阵列表面上沉淀一层透明粘合金属薄膜；将第二基色量子发光薄膜芯片粘合在透明粘合金属薄膜上；将第二基色量子发光薄膜芯片的衬底剥离；在第二基色量子发光薄膜以及粘合金属薄膜上选择性地刻蚀形成第二基色量子发光像素阵列；用介质填平表面，选择性介质刻蚀打开对应于有源矩阵显示控制电路电极的空心孔阵列，填入导电金属形成铆钉式电极阵列，将表面平整；在第二基色量子发光像素阵列表面上沉淀一层透明粘合金属薄膜；将第三基色量子发光薄膜芯片粘合在透明粘合金属薄膜上；将第三基色量子发光薄膜芯片的衬底剥离；在第三基色量子发光薄膜以及粘合金属薄膜上选择性地刻蚀形成第三基色量子发光像素阵列；用透明介质填平表面，在第三基色量子发光像素阵列表面沉淀一层透明金属薄膜作为第三基色量子发光像素阵列通用电极。