[发明专利]气体红外探测器在审
申请号: | 201810670530.5 | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN110646364A | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 万霞;黄隆重;尹斌;黄宁杰 | 申请(专利权)人: | 浙江三花智能控制股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504 |
代理公司: | 11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 宋合成 |
地址: | 312500 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种气体红外探测器,所述气体红外探测器包括第一电极、衬底、隔离层、第二电极、第三电极和石墨烯薄膜,所述衬底设在所述第一电极的上表面;所述隔离层设在所述衬底的上表面;所述第二电极和所述第三电极设在所述隔离层的上表面且彼此间隔设置;所述石墨烯薄膜覆设在所述隔离层的在所述第二电极和所述第三电极之间的上表面、所述第二电极的与所述第三电极相对的内侧面、所述第三电极的与所述第二电极相对的内侧面、第二电极的上表面和第三电极的上表面,所述隔离层的上表面的所述石墨烯薄膜具有周期性纳米结构。本发明的气体红外探测器增强了对红外光的吸收,能够仅吸收特定的红外波长,提高了探测器的性能。 | ||
搜索关键词: | 上表面 第二电极 第三电极 隔离层 红外探测器 石墨烯薄膜 衬底 第一电极 红外光 周期性纳米结构 红外波长 间隔设置 侧面 探测器 吸收 | ||
【主权项】:
1.一种气体红外探测器,其特征在于,包括:/n第一电极;/n衬底,所述衬底设在所述第一电极的上表面;/n隔离层,所述隔离层设在所述衬底的上表面;/n第二电极和第三电极,所述第二电极和所述第三电极设在所述隔离层的上表面且彼此间隔设置;/n石墨烯薄膜,所述石墨烯薄膜覆设在所述隔离层的在所述第二电极和所述第三电极之间的上表面、所述第二电极的与所述第三电极相对的内侧面、所述第三电极的与所述第二电极相对的内侧面、第二电极的上表面和第三电极的上表面,所述隔离层的上表面的所述石墨烯薄膜具有周期性纳米结构。/n
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