[发明专利]一种带优化反射层的黄绿光LED外延结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201810673978.2 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108767075B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 吴向龙;闫宝华;彭璐;王成新 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
一种带优化反射层的黄绿光LED外延结构及其制备方法，自下而上依次设置的GaAs衬底、AlGaAs缓冲层、GaAsP缓冲层、AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅰ、AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅱ、AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅲ、AlInP/AlGaInP DBR层、N‑AlInP限制层、AlGaInP N波导层、AlGaInP量子阱有源层、AlGaIn P波导层、AlIn P限制层以及GaP窗口处，通过由AlAsP/AlGaAsP DBR层Ⅰ、AlAsP/AlGaAsP DBR层Ⅱ以及AlAsP/AlGaAsP DBR层Ⅲ形成的AlGaAsP/AlAsP DBR组成复合布拉格反射层，作用是利用两种折射率不同的材料组成的周期性层状结构将有源层射向衬底的光反射并从顶部射出，从而大大提高出光率，通过微量 |
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| 搜索关键词： | 反射层 波导层 缓冲层 黄绿光 限制层 衬底 制备 周期性层状结构 布拉格反射层 量子阱有源层 通电可靠性 二极管 依次设置 出光率 窗口处 反射率 光反射 折射率 射出 源层 优化 复合 | ||
【主权项】：
1.一种带优化反射层的黄绿光LED外延结构，其特征在于，包括自下而上依次设置的GaAs衬底(1)、AlGaAs缓冲层(2)、GaAsP缓冲层(3)、AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅰ(4)、AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅱ(5)、AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅲ(6)、AlInP/AlGaInP DBR层(7)、N‑AlInP限制层(8)、AlGaInP N波导层(9)、AlGaInP量子阱有源层(10)、AlGaIn P波导层(11)、AlIn P限制层(12)以及GaP窗口处(13)，所述AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅰ(4)的波长大于AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅱ(5)的波长，所述AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅱ(5)的波长大于AlGaAsP/AlAsP DBR层Ⅲ(6)的波长。
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