[发明专利]一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法

摘要

本发明属于硬脆材料超精密加工领域，提供一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法。该方法包含以下步骤：1)室温下，将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中，超声震荡配制化学机械抛光液；2)采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光用抛光垫，修整抛光垫；3)选取工艺参数，对钇铝石榴石晶片进行化学机械抛光。通过本发明，可以较高的材料去除率获得低损伤的钇铝石榴石晶片。

主权项

1.一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，包含以下步骤：第一步，配制化学机械抛光液室温下，将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中，超声震荡后得到化学机械抛光液，所述的添加剂为十二烷基苯磺酸钠、聚甲基丙烯酸纳、异丙醇、聚乙二醇20000的一种或两种以上组合物；化学机械抛光液中，所述的氧化锆浓度为0.04～0.1g/ml，氧化锆粒径为0.03‑1μm；所述的氢氧化钠浓度为0.03～0.07g/ml；所述的十二烷基苯磺酸钠浓度为0.25g/L，聚甲基丙烯酸纳浓度为2g/L，异丙醇浓度为2g/L，聚乙二醇20000浓度为1g/L；第二步，采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光用抛光垫，修整抛光垫；第三步，对钇铝石榴石晶体进行化学机械抛光，能够达到2nm/min的材料去除率，加工1小时后获得表面粗糙度Ra小于1nm的YAG晶体表面。