[发明专利]超光滑光学元件表面缺陷类型的检测系统及其测量方法在审
| 申请号： | 201810676279.3 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108827981A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王红军;胡雪媛;陈晨;解格飒;田爱玲;朱学亮;刘丙才 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/30 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超光滑光学元件表面缺陷类型的检测系统及其测量方法。通过研究表面上方微粒、亚表面缺陷和表面粗糙度的BRDFpp在给定入射角、散射角下随着散射方位角变化的仿真结果，本发明提供一种光学元件表面缺陷类型检测系统及方法，在一定的偏振态下测量不同的散射方位角，研究其特性参数，以达到区分疵病类型的作用。本发明采用的技术方案包括激光器，激光器的光轴上依次设置有衰减片、扩束准直镜、斩波器和反射镜；所述的斩波器上连接有控制器；反射镜的斜下方设置有超光滑光学元件，光电探测器设置于超光滑光学元件的斜上方，光电探测器与锁相放大器连接；所述的锁相放大器与记录仪连接。 | ||
| 搜索关键词： | 光滑 光学元件表面 检测系统 缺陷类型 光电探测器 锁相放大器 光学元件 测量 激光器 反射镜 方位角 斩波器 散射 记录仪 表面粗糙度 扩束准直镜 亚表面缺陷 仿真结果 特性参数 依次设置 控制器 偏振态 入射角 散射角 衰减片 斜上方 光轴 研究 | ||
【主权项】：
1.一种超光滑光学元件表面缺陷类型的检测系统，包括激光器（1），其特征在于：还包括超光滑光学元件（8）、光电探测器（7）、锁相放大器（9）、控制器（5）、记录仪（13）；所述的激光器（1）的光轴上依次设置有衰减片（2）、扩束准直镜（3）、斩波器（4）和反射镜（6）；所述的斩波器（4）上连接有控制器（5）；反射镜（6）的斜下方设置有超光滑光学元件（8），光电探测器（7）设置于超光滑光学元件（8）的斜上方，光电探测器（7）与锁相放大器（9）连接；所述的锁相放大器（9）与记录仪（13）连接；所述的反射镜（6）的入射光束入射在超光滑光学元件上的入射角为60°，散射角为45°；两个光电探测器的空间摆放角度的散射方位角36°、72°，另外一个摆放在反射方向，即散射角为60°，对应的散射方位角为0°。
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