[发明专利]浆料冷却设备和具有该浆料冷却设备的浆料供给系统有效
申请号: | 201810679036.5 | 申请日: | 2018-06-27 |
公开(公告)号: | CN110014371B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 李相昊 | 申请(专利权)人: | 爱思开矽得荣株式会社 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02;B28D7/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 朱立鸣 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据本发明,提供了一种浆料供给系统,包括:浆料混合单元,该浆料混合单元构造成对浆料进行混合;浆料供给单元,在浆料混合单元中混合好的浆料被储存在所述浆料供给单元中,并且浆料供给单元构造成将浆料供给至抛光装置;管道,该管道构造成连接浆料混合单元与浆料供给单元;以及浆料冷却单元,该浆料冷却单元安装在被构造成连接浆料供给单元与抛光装置的管道中的至少一个管道之中,以冷却混合浆料。 | ||
搜索关键词: | 浆料 冷却 设备 具有 供给 系统 | ||
【主权项】:
1.一种浆料供给系统,包括:浆料混合单元,所述浆料混合单元构造成对浆料进行混合;浆料供给单元,在所述浆料混合单元中混合好的浆料被储存在所述浆料供给单元中,并且所述浆料供给单元构造成将浆料供给至抛光装置;管道,所述管道构造成连接所述浆料混合单元与所述浆料供给单元;以及浆料冷却单元,所述浆料冷却单元安装在被构造成连接所述浆料供给单元与所述抛光装置的管道中的至少一个管道之中,以冷却混合浆料。
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