[发明专利]一种靶材切割机

摘要

本发明公开了一种靶材切割机，包括框架、冷却组件、Z轴工作组件、Y轴工作组件、真空吸附组件、模具组件、腐蚀组件、打磨组件、机械手组件和切割组件。其有益效果为：（1）减少切割阻力，提高加工效率；（2）可修整靶材外形，保证产品质量；（3）可多方位切割；（4）提高切割工作稳定性；（5）有利于切割过程进行，提高切割精确度。

主权项

1.一种靶材切割机，包括框架、冷却组件（3）、Z轴工作组件（6）、Y轴工作组件（8）、真空吸附组件（9）、模具组件（10）、腐蚀组件（11）、打磨组件（12）、机械手组件（13）和切割组件（18）；其中，所述框架包括栏框（2）、承重平台Ⅰ（4）、立杆Ⅰ（5）、承重平台Ⅲ（14）、立杆Ⅱ（15）、承重平台Ⅳ（17）和支撑板（16）；栏框（2）安装在承重平台Ⅰ（4）下方，栏框（2）底部均匀设有多个调整地脚（1）；承重平台Ⅲ（14）通过多根均匀分布在承重平台Ⅰ（4）四周的立杆Ⅰ（5）安装在承重平台Ⅰ（4）上方，承重平台Ⅳ（17）通过多根立杆Ⅱ（15）安装在承重平台Ⅲ（14）上方；支撑板（16）由两块竖板和顶部一块横板组成，横板与承重平台Ⅳ（17）高度一致，承重平台Ⅳ（17）与横板侧缘中段连接；承重平台Ⅲ（14）中部设有开口，立杆Ⅱ（15）位于开口前侧，支撑板（16）位于开口后侧；所述冷却组件（3）包括储液箱（301）、导管（302）、转向口（303）和喷头（304）；多根导管（302）均匀设置在储液箱（301）两侧，导管（302）出口端安装喷头（304），转向口（303）安装在导管（302）中部；所述Z轴工作组件（6）包括微调节杆（601）、粗调节杆（602）、伸缩管（603）、微调节箱和承重平台Ⅱ（7）；多根粗调节杆（602）均匀分布在承重平台Ⅱ（7）上四周，穿过承重平台Ⅱ（7），一端固定在承重平台Ⅰ（4）上，另一端固定在承重平台Ⅲ（14）下侧；套装在粗调节杆（602）外部的伸缩管（603），一端连接在承重平台Ⅱ（7）上，另一端连接在承重平台Ⅲ（14）下侧；微调节杆（601）安装在承重平台Ⅱ（7）下方中央，与微调节箱连接；所述Y轴工作组件（8）包括转向台Ⅰ（802）、伸缩带（801）和Y轴调节箱；转向台Ⅰ（802）两端均安装有伸缩带（801），伸缩带（801）与Y轴调节箱连接；所述真空吸附组件（9）包括真空吸附板（901）、活动螺栓（902）、气管（903）、真空泵（904）和真空泵底座（905）；多个活动螺栓（902）均匀设置在真空吸附板（901）两侧，真空吸附板（901）内部设有腔室，真空吸附板（901）与真空泵（904）之间通过多根气管（903）连通，真空泵底座（905）位于真空泵（904）底部；所述模具组件（10）包括转向台Ⅱ（1001）、机械支架Ⅰ（1002）、卡扣（1003）和模具（1004）；机械支架Ⅰ（1002）安装在转向台Ⅱ（1001）上，模具（1004）通过卡扣（1003）安装在机械支架Ⅰ（1002）端头；所述腐蚀组件（11）包括转向台Ⅲ（1101）、机械支架Ⅱ（1102）和腐蚀枪（1103）；机械支架Ⅱ（1102）安装在转向台Ⅲ（1101）上，腐蚀枪（1103）安装在机械支架Ⅱ（1102）端头；所述打磨组件（12）包括转向台Ⅳ（1201）、机械支架Ⅲ（1202）和砂轮（1203）；机械支架Ⅲ（1202）安装在转向台Ⅳ（1201）上，砂轮（1203）安装在机械支架Ⅲ（1202）端头；所述机械手组件（13）包括转向台Ⅴ（1301）、机械支架Ⅳ（1302）和机械爪（1303）；机械支架Ⅳ（1302）安装在转向台Ⅴ（1301）上，机械爪（1303）安装在机械支架Ⅳ（1302）端头；所述切割组件（18）包括导向轮（1801）、切割线（1802）、悬挂板（1803）、张紧轮（1804）、传动杆（1805）、底座（1806）、绕丝筒（1807）和液压杆（1808）；多个悬挂板（1803）悬挂固定在承重平台Ⅲ（14）下方开口后侧，每一个悬挂板（1803）下端均设有导向轮（1801）；液压杆（1808）悬挂固定在支撑板（16）的横板上；两个张紧轮（1804）位于承重平台Ⅳ（17）两侧，分别通过传动杆（1805）穿过支撑板（16）与承重平台Ⅳ（17）相邻一侧的竖板与液压杆（1808）连接；底座（1806）固定在承重平台Ⅳ（17）和支撑板（16）的横板共同构成的平面上，绕丝筒（1807）设置在底座（1806）上；切割线（1802）缠绕在绕丝筒（1807）上，并依次在绕丝筒（1807）→其中一个张紧轮（1804）→多个导向轮（1801）→另一个张紧轮（1804）→绕丝筒（1807）循环；冷却组件（3）的储液箱（301）置于栏框（2）内，转向口（303）固定在立杆Ⅱ（15）侧面；Z轴工作组件（6）置于承重平台Ⅰ（4）上，Y轴工作组件（8）置于承重平台Ⅱ（7）上，且转向台Ⅰ（802）位于承重平台Ⅱ（7）中央；真空吸附组件（9）的真空吸附板（901）置于转向台Ⅰ（802）上，真空泵（904）通过真空泵底座（905）安装在承重平台Ⅲ（14）上；模具组件（10）、腐蚀组件（11）和打磨组件（12）均分别通过各自的转向台安装在承重平台Ⅱ（7）上，机械手组件（13）通过转向台Ⅴ（1301）安装在承重平台Ⅲ（14）下侧，使模具（1004）、腐蚀枪（1103）、砂轮（1203）和机械爪（1303）均朝向真空吸附板（901）上方的样品处理区域；在承重平台Ⅲ（14）下方开口前侧还设有灯管（19）。