[发明专利]晶片表面颗粒物在线检测方法、装置及晶片生产线在审
| 申请号： | 201810679971.1 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110646438A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 刘云龙;车星光;王志鹤;刘晓琴 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片在线检测设备技术领域，尤其涉及一种晶片表面颗粒物在线检测方法、装置及晶片生产线。该装置能集成在晶片生产线上，装置包括：激光发射器用于向晶片发射原始激光束；激光转换组件设置在激光发射器和晶片之间，用于将原始激光束转变为线激光，以使线激光垂直的入射晶片的表面，该线激光用于对行进中的晶片的表面进行面扫描；信号接收器与原始激光束的入射方向相偏离，用于在线激光入射到晶片表面时，接收由晶片反射的反射激光。该方法是基于装置提供的。该方法和装置利用线激光对行进中的晶片进行连续扫描以实现面扫描，从而实现晶片的连续不停滞的实时在线缺陷检测，且该装置能集成在生产线上，从而实现晶片缺陷的在线实时检测。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 线激光 原始激光束 激光发射器 晶片生产线 面扫描 入射 行进 在线检测设备 在线实时检测 方法和装置 信号接收器 反射激光 激光转换 晶片表面 晶片缺陷 连续扫描 缺陷检测 入射方向 实时在线 在线激光 在线检测 装置提供 组件设置 垂直的 颗粒物 反射 种晶 偏离 停滞 发射 | ||
【主权项】：
1.一种晶片表面颗粒物在线检测装置，其特征在于，包括：/n激光发射器，用于向晶片发射原始激光束；/n激光转换组件，设置在所述激光发射器和所述晶片之间，用于将所述原始激光束转变为线激光，以使所述线激光垂直地入射所述晶片的表面，所述线激光用于对行进中的所述晶片的表面进行面扫描；/n信号接收器，与所述原始激光束的入射方向相偏离，用于在所述线激光入射到所述晶片表面时，接收由所述晶片反射的反射激光。/n
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