[发明专利]Ge-Se-O双向阈值开关材料、选通器单元及制备方法在审

专利信息
申请号: 201810680836.9 申请日: 2018-06-27
公开(公告)号: CN108963073A 公开(公告)日: 2018-12-07
发明(设计)人: 刘广宇;吴良才;陈莹;刘万良;宋志棠 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 罗泳文
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种Ge‑Se‑O双向阈值开关材料、选通器单元及制备方法,所述Ge‑Se‑O双向阈值开关材料的化学通式为GexSeyO100‑x‑y,其中x、y均指元素的原子百分比,且满足30xSeyO100‑x‑y材料的双向阈值开关选通器的阈值电压。在外部电场的作用下,当电压达到阈值电压时,双向阈值开关材料能够实现高电阻态到低电阻态的瞬时转变;撤去外部能量时,双向阈值开关材料又能够立即由低电阻态向高电阻态转变。其作为双向阈值开关的介质时,双向阈值开关选通器单元不仅具有阈值电压低、开关比大、开启电流大等优点,而且器件的可靠性都得到了提高。
搜索关键词: 双向阈值开关 选通器 低电阻态 高电阻态 阈值电压 制备 原子百分比 化学通式 开启电流 外部电场 外部能量 电压低 开关比
【主权项】:
1.一种用于双向阈值开关选通器的Ge‑Se‑O双向阈值开关材料,其特征在于:所述Ge‑Se‑O双向阈值开关材料的化学通式为GexSeyO100‑x‑y,其中x、y均指元素的原子百分比,且满足30
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