[发明专利]Ge-Se-Sb复合材料、1S1R相变存储器单元及制备方法在审
申请号: | 201810680838.8 | 申请日: | 2018-06-27 |
公开(公告)号: | CN108922960A | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 刘广宇;吴良才;李涛;章思帆;宋志棠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 罗泳文 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明提供一种Ge‑Se‑Sb复合材料、1S1R相变存储器单元及制备方法,其化学通式为GexSeySb100‑x‑y,其中x、y均指元素的原子百分比,且满足20 | ||
搜索关键词: | 原子百分比 复合材料 相变存储器单元 制备 相变存储单元 数据保持力 材料介质 存储材料 化学通式 可逆转换 相变存储 低电阻 电压低 开关比 选通器 | ||
【主权项】:
1.一种用于1S1R相变存储器单元的Ge‑Se‑Sb复合材料,其特征在于:所述Ge‑Se‑Sb复合材料的化学通式为GexSeySb100‑x‑y,其中x、y均指元素的原子百分比,且满足20
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