[发明专利]氮化铝陶瓷及其制备方法、静电卡盘和应用在审
| 申请号： | 201810681428.5 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108706980A | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 朱佐祥;向其军;谭毅成 | 申请（专利权）人： | 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氮化铝陶瓷及其制备方法、静电卡盘和应用。该一种氮化铝陶瓷的制备方法，包括如下步骤：将原料混合得到混合料，其中，原料包括氮化铝粉和助烧剂，按照质量百分含量计，氮化铝粉包括70％～80％的中位粒径为0.5微米～2微米的第一氮化铝颗粒和20％～30％的中位粒径为6微米～8微米的第二氮化铝颗粒；将混合料成型，得到坯体；将坯体在还原气氛中烧结，得到氮化铝陶瓷。上述方法制备得到的氮化铝陶瓷具有较好的导热性。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化铝陶瓷 制备 氮化铝颗粒 氮化铝粉 静电卡盘 中位粒径 混合料 坯体 导热性 还原气氛 原料混合 烧结 助烧剂 成型 应用 | ||
【主权项】：
1.一种氮化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将原料混合得到混合料，其中，所述原料包括氮化铝粉和助烧剂，按照质量百分含量计，所述氮化铝粉包括70％～80％的中位粒径为0.5微米～2微米的第一氮化铝颗粒和20％～30％的中位粒径为6微米～8微米的第二氮化铝颗粒；将所述混合料成型，得到坯体；及将所述坯体在还原气氛中烧结，得到氮化铝陶瓷。
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