[发明专利]嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，所述方法以均匀放置在石英舟和石英管的锌粉为原料，通过化学气相沉积法制备得到氧化锌微米线，然后将制备好的氧化锌微米线转移到洗净的玻璃衬底上，排列整齐，滴入PVAL胶水覆盖氧化锌微米线表面，待胶水凝固后，将氧化锌微米线阵列与PVAL衬底从玻璃衬底揭下，完成氧化锌微米线阵列嵌入柔性衬底的工作，再在氧化锌微米线阵列表面沉积金叉指电极，完成ZnO微米线阵列紫外探测器的制备。所述方法使用PVAL柔性衬底，可以最大程度地保护氧化锌微米线阵列，和电极形成最好的接触，使得器件高度一体化。

主权项

1.一种嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1、对石英试管和石英舟进行清洗烘干预处理；S2、称取纯度为99.99％的锌粉5‑10克，均匀平铺在洗净的石英舟底部并将石英舟放置在石英试管中，将石英试管置于管式炉中间的高温区域；S3、将管式炉以升温速率10‑15℃/min升温至980‑1000℃内某一温度，并在管式炉升温过程中持续以流速15‑20ml/min通入高纯氮气作为保护气，当管式炉升温到该温度后，停止通入氮气，并开始以流速15‑20ml/min通入高纯氧气，保持该温度1‑1.5h；S4、关闭管式炉，冷却至室温后，取出石英试管中的氧化锌微米线待用；S5、对透明玻璃衬底进行清洗烘干预处理；S6、将经过预处理后的透明玻璃衬底置于真空手套箱操作台上，将氧化锌微米线转移到透明玻璃衬底上排列整齐，使之与衬底充分接触贴合，逐滴滴入1‑2mlPVAL胶水覆盖氧化锌微米线阵列表面后，放入60‑65℃的干燥箱保持1‑1.5h；S7、将凝固的PVAL薄膜从透明玻璃衬底上剥离，在氧化锌微米线阵列表面沉积金叉指电极，完成ZnO微米线阵列紫外探测器的制备。