[发明专利]一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统及方法

摘要

本发明公开了一种H2SO4/S2O82‑微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统及方法，解决了常见微蚀刻废液回收金属铜后依然有硫酸盐废液排出的问题，包括：S1、将微蚀刻废液导入第一电解槽的阴极室内，将阳极液导入第一电解槽的阳极室内；S2、通入直流电进行电解，持续电解数小时后停止通电，回收阴极件表面的金属铜；S3、将阴极室内电解回收金属铜后的微蚀刻废液导入阳极液储槽内储存并作为下次电解过程中的阳极液，将阳极室内再生的微蚀刻废液导入蚀刻机微蚀刻液储槽循环利用；S4、批序式重复上述S2、S3步骤，达到实现金属铜回收及微蚀刻液同步再生的目的。

主权项

1.一种H2SO4/S2O82‑微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，其特征在于，包括第一电解槽(1)，所述第一电解槽(1)内设有将所述第一电解槽(1)分隔为阳极室(2)和阴极室(3)的离子交换膜(4)，所述阳极室(2)内设有供微蚀刻废液中的硫酸根离子在其表面发生电化学氧化反应的阳极件(5)，所述阴极室(3)设有供微蚀刻废液中的铜离子在其表面发生电化学还原反应的阴极件(6)，所述阳极件(5)和阴极件(6)之间连接有第一电源(7)。