[发明专利]一种透明导电电极及其制备方法、显示装置在审
| 申请号： | 201810684594.0 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108878370A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张霞;刘国和;刘刚 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/84 | 分类号： | H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1343;H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种透明导电电极的制备方法，包括以下步骤：提供基板，在基板上涂布含有光酸产生剂的聚碳酸丙烯酯层，再在聚碳酸丙烯酯层中形成沟道；在沟道中通过涂布油墨以形成透明导电层，随后经干燥处理以去除油墨中的溶剂；通过灰化处理以去除剩余的聚碳酸丙烯酯层，得到透明导电电极。本发明提供的方法，通过涂布含有光酸产生剂的聚碳酸丙烯酯层可极大地降低去除聚碳酸丙烯酯层时所需的温度，最终可使透明导电电极适用于更多种类的基板上。而且在聚碳酸丙烯酯层中形成沟道，进而在沟道中形成透明导电层的方法，不仅可极大地节约油墨的用料，降低制备的成本，还可以精确的控制透明导电层的线宽和厚度，更可以提高透明导电层的边缘直线性。 | ||
| 搜索关键词： | 聚碳酸丙烯酯 透明导电电极 透明导电层 沟道 基板 去除 制备 光酸产生剂 油墨 边缘直线 干燥处理 灰化处理 涂布油墨 显示装置 溶剂 用料 节约 | ||
【主权项】：
1.一种透明导电电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供基板，在所述基板上涂布含有光酸产生剂的聚碳酸丙烯酯层，再在所述聚碳酸丙烯酯层中形成沟道；在所述沟道中通过涂布油墨以形成透明导电层，随后经干燥处理以去除所述油墨中的溶剂；通过灰化处理以去除剩余的所述聚碳酸丙烯酯层，得到透明导电电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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