[发明专利]一种快速退火装置及其冷却管道结构在审
| 申请号： | 201810685367.X | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN108873408A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 黄灿 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 孙威;潘中毅 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种冷却管道结构，包括：多条第一支管道，多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；多条第二支管道，多条第二支管道和多条第一支管道逐一间隔排列，多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，第一进水主管道和第二进水主管道分别位于多条第一支管道或多条第二支管道的相对两侧。本发明还公开了一种快速退火装置。实施本发明的快速退火装置及其冷却管道结构，能够提高快速降温的效率以及管道降温的均一性；降低对管道进行维修及维护的时间，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 支管道 进水主管道 可拆卸的 快速退火装置 冷却管道 出水主管道 端部连接 间隔排列 快速降温 相对两侧 均一性 产能 维修 维护 | ||
【主权项】：
1.一种用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，包括：多条第一支管道，所述多条第一支管道具有相对的两端部，所述多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，所述多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；多条第二支管道，所述多条第二支管道和所述多条第一支管道逐一间隔排列，所述多条第二支管道具有相对的两端部，所述多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，所述多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，其中：所述第一进水主管道和所述第二进水主管道分别位于所述多条第一支管道或所述多条第二支管道的相对两侧。
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