[发明专利]一种改善反光杯性能的镀膜工艺在审
| 申请号： | 201810693357.0 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108796502A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 邹达伟;熊大章 | 申请（专利权）人： | 中山市达尔科光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C16/50;C23C14/20;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人： | 邹常友 |
| 地址： | 528400 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种改善反光杯性能的镀膜工艺，包括以下步骤：步骤一、将工件置于加工炉体腔内，抽真空后充入氩气并通过离子电流轰击对工件表面进行清洗；步骤二、通过化学气相沉积法在离子电流轰击的条件下为工件镀二甲基硅油底膜；步骤三、通过蒸镀的方式为工件镀铝膜，采用纯度为99.99％的纯铝在1100～1200℃的高温下为工件蒸镀；步骤四、通过化学气相沉积法在离子电流轰击的条件下为工件镀二甲基硅油保护膜。本发明提出的改善反光杯性能的镀膜工艺，高光效、膜层稳定性强，且用料少、降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜工艺 离子电流 反光杯 轰击 化学气相沉积 二甲基硅油 蒸镀 膜层稳定性 氩气 工件表面 保护膜 抽真空 镀铝膜 高光效 加工炉 纯铝 底膜 体腔 用料 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种改善反光杯性能的镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将工件置于加工炉体腔内，抽真空后充入氩气并通过离子电流轰击对工件表面进行清洗；步骤二、通过化学气相沉积法在离子电流轰击的条件下为工件镀二甲基硅油底膜；步骤三、通过蒸镀的方式为工件镀铝膜，采用纯度为99.99％的纯铝在1100～1200℃的高温下为工件蒸镀；步骤四、通过化学气相沉积法在离子电流轰击的条件下为工件镀二甲基硅油保护膜。
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