[发明专利]一种利用全介质纳米结构增强石墨烯紫外光吸收的方法

摘要

本发明公开了一种利用全介质纳米结构增强石墨烯紫外光吸收的方法，包括，以下步骤：步骤1：在基片上用电子束蒸镀的方法先沉积氟化钙作为氟化钙介质层；步骤2：在氟化钙介质层一侧之上沉积氧化锆作为高折射率介质氧化锆层，在高折射率介质氧化锆层之上沉积六氟铝酸钠作为低折射率介质六氟铝酸钠层；步骤3：然后在低折射率介质六氟铝酸钠层的表面沉氟化钙作为氟化钙介质层；步骤4：将石墨烯转移至氟化钙介质层另一侧之上形成石墨烯层；步骤5：在石墨烯层表面沉积氧化硅层；步骤6：利用光刻的方式将氧化硅层刻蚀成相同宽度和相同距离的二氧化硅纳米条。无需在结构中加入任何除石墨烯以外的有耗金属或介质，紫外光的能量全部被石墨烯吸收。

主权项

1.一种利用全介质纳米结构增强石墨烯紫外光吸收的方法，其特征在于，包括，以下步骤：步骤1：选择单面抛光的硅片为基片，在基片上用电子束蒸镀的方法先沉积氟化钙作为氟化钙介质层(3)；步骤2：在氟化钙介质层(3)一侧之上沉积氧化锆作为高折射率介质氧化锆层(4)，在高折射率介质氧化锆层(4)之上沉积六氟铝酸钠作为低折射率介质六氟铝酸钠层(5)；步骤3：然后在低折射率介质六氟铝酸钠层(5)的表面沉氟化钙作为氟化钙介质层(3)；步骤4：将石墨烯转移至氟化钙介质层(3)另一侧之上形成石墨烯层(2)；步骤5：在石墨烯层(2)表面沉积氧化硅层；步骤6：利用光刻的方式将氧化硅层刻蚀成相同宽度和相同距离的二氧化硅纳米条(1)。