[发明专利]衬底升降机构和包含衬底升降机构的反应器有效
| 申请号： | 201810696644.7 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN109390199B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | E·希尔;J·迪桑托 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王冉 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种适合用于反应器中的衬底支撑组合件，所述反应器包含共同处理和衬底转移区。所述衬底支撑组合件包含基座和一个或多个升降销，所述一个或多个升降销可用于将衬底降低到所述基座的表面上以及使所述衬底从所述表面升高，从而在不升高或降低所述基座的情况下允许所述衬底从所述处理区转移。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 升降 机构 包含 反应器 | ||
【主权项】：
1.一种反应器，包括共同衬底处理和转移区，所述反应器包括：反应室，其包括反应区；基座，其具有在所述反应区内的顶部表面；以及衬底升降机构，其包括：至少一个升降销；升降销支撑构件，其以可拆卸方式接合到所述至少一个销；以及可移动轴，其连接到所述升降销支撑构件，其中所述衬底升降机构使所述至少一个升降销延伸通过所述基座的宽度且高于所述表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASMIP控股有限公司，未经ASMIP控股有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810696644.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
