[发明专利]无机柔性全透明钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法

摘要

本发明公开了无机柔性钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法。该透明柔性压控变容管由依次连接的云母衬底、全透明层状(Ag/ITO)n底电极、钙钛矿氧化物薄膜和透明ITO顶电极组成。该压控变容管以云母为衬底，使用O2作为溅射气体，利用溅射沉积技术在云母上依次沉积厚度为150nm‑250nm的(Ag/ITO)n底电极、厚度为200nm的钙钛矿氧化物薄膜和厚度为100nm‑300nm的ITO顶电极，制得无机柔性全透明钙钛矿氧化物压变变容管。本发明的压控变容管调谐率优异、透光率高；且柔性耐弯折，弯曲半径为1.4mm时其调谐率接近平整状态时的数值，在柔性、透明电子器件中具有广泛的应用前景。

主权项

1.无机柔性全透明钙钛矿氧化物压控变容管，其特征在于，所述的柔性全透明压控变容管的由各层顺序依次为云母衬底、全透明层状(Ag/ITO)n底电极、钙钛矿氧化物铁电薄膜和透明ITO顶电极组成。