[发明专利]基板传送装置及系统

摘要

本申请公开了一种基板传送装置及系统，该基板传送装置包括，磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种在传送过程中以下方支撑的方式不会对基板膜面造成损伤，因此更具安全可靠的特性。

主权项

1.一种基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置包括：磁性基座，所述磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接所述电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，所述磁性承接盘位于所述电磁单元一侧的所述磁场中，所述磁性承接盘用于放置待传送基板，并在所述电磁单元产生所述磁场时相对所述磁性基座悬浮；所述倾斜装置带动所述电磁单元沿预定角度进行倾斜，改变所述磁场方向，以使所述磁性承接盘相对于所述磁性基座沿预定方向运动。