[发明专利]薄膜层叠结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201810703235.5 | 申请日： | 2018-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN108984026A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 许晓伟 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041;G06F3/044 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜层叠结构及其制作方法，所述制作方法包括：提供基板，在基板上开设凹槽；在凹槽的内壁形成增粘层；在基板的凹槽中形成纳米金属线层；在基板上形成保护层。在本发明所提供的薄膜层叠结构及其制作方法中，纳米金属线层不再是简单涂覆于基板上，而是填充在基板上的凹槽中，增大了纳米金属线层与基板的接触面积，提高了二者的粘附性；纳米金属线层与基板之间还设置有增粘层，进一步增强了二者的粘附性，降低了基板弯折时纳米金属线层产生移动的可能性；在基板上还形成有保护层，将银纳金属线层固定在基板上，进一步降低了基板弯折时纳米金属线层产生移动的可能性，并保护纳米金属线层不被腐蚀、磨损等外界环境的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 纳米金属线 层叠结构 薄膜 基板弯折 保护层 增粘层 粘附性 制作 金属线层 外界环境 移动 内壁 填充 涂覆 磨损 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜层叠结构，其特征在于，包括：基板，所述基板上设有若干个凹槽；纳米金属线层，填充在所述凹槽中；增粘层，设置在所述纳米金属线层与所述基板之间；以及保护层，设置在所述基板上，并覆盖所述纳米金属线层。
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