[发明专利]刀具装卸治具、刀具装卸方法、刀具取出方法和切削装置有效
申请号: | 201810705551.6 | 申请日: | 2018-07-02 |
公开(公告)号: | CN109216233B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 木内逸人;龟田宗 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供刀具装卸治具、刀具装卸方法、刀具取出方法和切削装置,不用手接触刀具而将刀具安装在凸缘上或将刀具从凸缘拆卸。刀具装卸治具(7)用于对切削装置(1)的凸缘(61)装卸刀具(60),切削装置具有:凸缘,其固定在主轴(66)前端,具有凸台部(610)、刀具安装部(611)和环状端面(611b);和按压部(65),其对刀具进行固定,刀具装卸治具具有:圆柱状的主体部(70),其在与刀具安装部相同直径的前端部分(70a)形成有嵌合于凸台部的凹部(700);把持部(74),其与主体部连结;第一空气喷出口(71),其形成在主体部的前端部分;第二空气喷出口(72),其形成在主体部与把持部的连接部分;第一连通路径(75),其使第一空气喷出口与空气源(79)连通;和第二连通路径(76),其使第二空气喷出口与空气源连通。 | ||
搜索关键词: | 刀具 装卸 方法 取出 切削 装置 | ||
【主权项】:
1.一种刀具装卸治具,其用于对切削装置的凸缘装卸刀具,该切削装置至少具有:所述凸缘,其固定在主轴的前端,具有凸台部、供所述刀具嵌合并安装的刀具安装部以及对刀具进行支承的环状的端面;以及按压部,其与该凸缘一起对该刀具进行夹持而固定,其中,该刀具装卸治具至少具有:圆柱状的主体部,其在与该刀具安装部为相同直径的前端部分形成有与该凸台部嵌合的凹部;把持部,其与该主体部连结,具有比该主体部大的直径;多个第一空气喷出口,它们形成在该主体部的前端部分;多个第二空气喷出口,它们形成在该主体部与该把持部的连接部分;第一连通路径,其借助控制部使该第一空气喷出口与空气源连通;以及第二连通路径,其借助该控制部使该第二空气喷出口与该空气源连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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