[发明专利]一种光学系统多角度像质检测装置及方法

摘要

本发明属于光学检测领域，具体涉及一种光学系统多角度像质检测装置及方法，装置包括干涉仪、干涉仪二维调整基座、干涉仪运动导轨、第一折转镜三维调整基座、第一光路折转反射镜、折转镜移动导轨、第二光路折转反射镜、第二折转镜三维调整基座、被检光学系统、被检设备三维调整基座、被检设备移动导轨、标准镜移动导轨、标准平面反射镜、标准镜三维调整基座以及检测装置支撑架，该装置及方法能够通过改变光路折转反射镜、被检光学系统以及标准平面反射镜的位置与角度，对被检光学系统与重力成任意角度状态下的像质以及任意视场内的像质进行检测。

主权项

1.一种光学系统多角度像质检测装置，其特征在于包括干涉仪(1)、干涉仪二维调整基座(2)、干涉仪运动导轨(3)、第一折转镜三维调整基座(4)、第一光路折转反射镜(5)、折转镜移动导轨(6)、第二光路折转反射镜(7)、第二折转镜三维调整基座(8)、被检光学系统(9)、被检设备三维调整基座(10)、被检设备移动导轨(11)、标准镜移动导轨(12)、标准平面反射镜(13)、标准镜三维调整基座(14)以及检测装置支撑架(15)，其中干涉仪运动导轨(3)固定在检测装置支撑架(15)前方，折转镜移动导轨(6)、被检设备移动导轨(11)以及标准镜移动导轨(12)分别固定在检测装置支撑架(15)上方；干涉仪(1)放置在干涉仪二维调整基座(2)上，使干涉仪(1)可以进行水平方向的旋转运动，干涉仪二维调整基座(2)安装在干涉仪运动导轨(3)上，使干涉仪(1)可以沿干涉仪运动导轨(3)移动，也就是进行光轴方向的平移；第一光路折转反射镜(5)活动连接在第一折转镜三维调整基座(4)上，使得第一光路折转反射镜(5)在第一折转镜三维调整基座(4)上进行方位方向以及俯仰方向的转动运动，第一折转镜三维调整基座(4)活动连接在折转镜移动导轨(6)上，使得第一光路折转反射镜(5)通过第一折转镜三维调整基座(4)在折转镜移动导轨(6)上进行沿轨道的上下平移运动；第二光路折转反射镜(7)活动连接在第二折转镜三维调整基座(8)上，使得第二光路折转反射镜(7)在第二折转镜三维调整基座(8)上进行方位方向以及俯仰方向的转动运动，第二折转镜三维调整基座(8)活动连接在折转镜移动导轨(6)上，使得第二光路折转反射镜(7)通过第二折转镜三维调整基座(8)在折转镜移动导轨(6)上进行沿轨道的上下平移运动；被检光学系统(9)活动连接在被检设备三维调整基座(10)上，使得被检光学系统(9)能够进行方位方向与俯仰方向的二维转动，被检设备三维调整基座(10)活动连接在被检设备移动导轨(11)上，使得被检光学系统(9)通过被检设备三维调整基座(10)在被检设备移动导轨(11)上进行沿轨道的垂直方向平移运动；标准平面反射镜(13)活动连接在标准镜三维调整基座(14)上，使得标准平面反射镜(13)可以在标准镜三维调整基座(14)上进行方位与俯仰方向的旋转运动，标准镜三维调整基座(14)活动连接在标准镜移动导轨(12)上，使得标准平面反射镜(13)通过标准镜三维调整基座(14)在标准镜移动导轨(12)上进行沿轨道的竖直方向平移运动。