[发明专利]一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置在审
| 申请号： | 201810712709.2 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108588815A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 万静;郝大维;李东;李皓;郭宝川;刘承劼;孙晨光;王彦君;孙健 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，包括旋转底盘、设于旋转底盘上的单晶夹持底座、设于单晶夹持底座上的铰接的拔片连接杆及竖直设置的钢丝；钢丝的上端与拔片连接杆的尾端连接，钢丝的下端与旋转底盘连接，钢丝上套设有一段具有弹性的毛细铜管，毛细铜管呈弯折状，钢丝位于所述毛细铜管内的一段呈与毛细铜管相同的弯折状。本发明所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置结构简单、制造成本低廉、能够实时快捷的调节钢丝长度。 | ||
| 搜索关键词： | 钢丝 单晶 毛细铜管 区熔单晶炉 可调节式 旋转底盘 夹持底座 夹持装置 连接杆 弯折状 拔片 夹持装置结构 竖直设置 尾端连接 制造成本 弹性的 上端 铰接 上套 下端 | ||
【主权项】：
1.一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，包括旋转底盘(1)、设于所述旋转底盘(1)上的单晶夹持底座(2)、设于所述单晶夹持底座(2)上的铰接的拔片连接杆(3)及竖直设置的钢丝(4)；所述钢丝(4)的上端与所述拔片连接杆(3)的尾端连接，所述钢丝(4)的下端与所述旋转底盘(1)连接，其特征在于：所述钢丝(4)上套设有一段具有弹性的毛细铜管(5)，所述毛细铜管(5)呈弯折状，所述钢丝(4)位于所述毛细铜管(5)内的一段呈与所述毛细铜管(5)相同的弯折状。
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