[发明专利]光配向装置及方法有效
| 申请号： | 201810714111.7 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110658653B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王春兰;朱树存 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光配向装置及方法，所述光配向装置包括配向光源、工件台、遮光机构以及传动机构。所述遮光机构对基板分区遮挡，所述工件台承载所述基板在所述光源照射区域内移动，所述传动机构切换所述遮光机构的遮光工位，完成对基板透光区域的配向；所述遮光机构变换分区遮挡模式以及所述工件台旋转后继续对基板透光区域进行配向，实现在同一基板上进行多角度的分区配向，提高基板利用率，降低了成本。同时通过切换所述遮光机构的遮光工位，还可以对同一基板不同区域进行多次配向，使得基板不同区域的表面照度的均匀化，达到更好配向效果，提高基板利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光配向装置，其特征在于，包括：光源、工件台、遮光机构以及传动机构；/n其中，所述光源提供配向过程所需配向光；所述遮光机构包括多个遮光组件，用于对基板进行分区遮挡；所述遮光机构控制所述遮光组件的遮光与透光，变换分区遮挡模式；/n所述遮光机构对基板分区遮挡，所述工件台承载所述基板在所述光源照射区域内移动，所述传动机构切换所述遮光机构的遮光工位，完成对基板透光区域的配向；所述遮光机构变换分区遮挡模式以及所述工件台旋转后继续对基板透光区域进行配向，实现在同一基板上进行多角度的分区配向。/n
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