[发明专利]热反射测量系统

摘要

本发明公开了一种热反射测量系统，通过光路调整测量装置产生的第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，通过近场探测装置可以突破远场衍射极限，大大提高分辨率，由于分辨率会受近场探测装置与待测样品之间的距离影响，因此，采用距离控制装置检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离可以较好的保证近场探测装置进行近场探测。因此，第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，并通过距离控制装置控制近场探测装置与待测样品之间的距离，可以较大幅度的提高热反射测量的空间分辨率。

主权项

1.一种热反射测量系统，包括：脉冲激光发生器，用于提供脉冲激光；光路调整测量装置，接收所述脉冲激光，用于将所述脉冲激光分为用于探测所述待测样品的第一激光束和用于加热待测样品的第二激光束，并对所述第一激光束和所述第二激光束进行调整，以使所述第一激光束和所述第二激光束间隔预设时长达到待测样品的同一区域，对当前区域的热物性进行测量；其特征在于，还包括：近场探测装置，设置在所述光路调整装置的输出光路上，用于将所述第一激光束和所述第二激光束传递至所述待测样品；距离控制装置，用于检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离。