[发明专利]流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质

摘要

本发明提供流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质。流体控制装置能够在脉冲控制中在各打开期间对经过阀的流体的流量或压力实现比以往更高的控制精度，控制机构包括：脉冲信号发生器，向第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出部，基于由压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。

主权项

1.一种流体控制装置，其特征在于，包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力；以及控制机构，控制所述第一阀，所述控制机构包括：脉冲信号发生器，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出部，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。