[发明专利]加热装置及加热方法在审
| 申请号： | 201810715778.9 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN109309973A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 羽田浩二 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | H05B3/64 | 分类号： | H05B3/64;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种加热装置及加热方法，所述加热装置能够抑制装置的大型化，并且在基板的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板的表面附近除去。本发明的加热装置具有多个棒状加热器(20)及包覆棒状加热器(20)的多个外管(30)。从供气部供给的气体在外管(30)的内部经棒状加热器(20)加热。而且，从外管(30)的喷出口(32)向基板(9)喷出加热后的气体。借此，在基板(9)的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板(9)的表面附近除去。另外，基板(9)的加热与气体的加热是由共同的棒状加热器(20)进行。借此抑制装置的大型化。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 加热 棒状加热器 加热装置 外管 表面形成高温 抑制装置 气体流 供气部 喷出口 包覆 喷出 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，对多个基板进行加热，且所述加热装置的特征在于，包括：加热炉，能够在上下方向上多段地收纳所述多个基板；多个棒状加热器，在所述加热炉的内部沿着所述基板的表面而配置；多个外管，包覆所述多个棒状加热器各者；供气部，对所述多个外管各自的内部供给气体；以及排气部，排出所述加热炉内的气体，并且所述多个外管分别具有喷出口，所述喷出口向所述基板喷出从所述供气部供给的气体。
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