[发明专利]晶片研磨抛光装置在审
| 申请号： | 201810718589.7 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN109015337A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 唐坤;陈鑫;高艳庄 | 申请（专利权）人： | 江苏晶亚汇电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/27 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 224000 江苏省盐城市大丰市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶片研磨抛光装置，包括晶片夹持机构与研磨抛光机构；研磨抛光机构包括研磨抛光座、晶片夹持调节杆、研磨抛光电机以及研磨抛光杆；晶片夹持机构包括连接筒、夹持筒以及夹持块。本发明能够对晶片进行有效稳定地夹持，同时能够根据需要对其表面进行研磨抛光；结构新颖、使用便捷，制造成本低的同时有效保证晶片的研磨抛光质量，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨抛光 晶片夹持机构 晶片 研磨抛光装置 晶片研磨 抛光装置 制造成本 调节杆 夹持块 夹持筒 晶片夹 连接筒 地夹 种晶 电机 保证 | ||
【主权项】：
1.一种晶片研磨抛光装置，其特征在于：包括晶片夹持机构以及研磨抛光机构；所述研磨抛光机构包括研磨抛光座（1）、晶片夹持调节杆（2）、研磨抛光电机（3）以及研磨抛光杆（4）；所述研磨抛光座（1）水平设置；所述晶片夹持调节杆（2）以及研磨抛光杆（4）分别安装在研磨抛光座（1）的表面两侧；所述研磨抛光电机（3）安装于研磨抛光杆（4）的顶部，并且配合安装研磨抛光盘（5）；所述晶片夹持机构包括连接筒（6）、夹持筒（7）以及夹持块（8）；所述夹持筒（7）活动安装于连接筒（6）的上部外侧，其顶端封闭，并通过连杆（9）连接夹持杆（10）；所述连接筒（6）配合安装于晶片夹持调节杆（2）的顶部，其底端固定有限位板（11）；所述限位板（11）上开有夹持限位孔（12）；所述夹持限位孔（12）为喇叭孔，并且其靠近夹持筒（7）一侧的孔径小于另一侧的孔径；所述夹持杆（10）的数量至少为两个，均匀分布于连杆（9）的底端，并穿过夹持限位孔（12）连接夹持块（8）；所述夹持块（8）的内侧由中心向两侧分别设有弧形夹持槽（14）与折角夹持槽（15）；所述折角夹持槽（15）与弧形夹持槽（14）平滑连接，并且关于弧形夹持槽（14）所在弧形的平分线对称。
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