[发明专利]一种热分解薄膜制备反应装置

摘要

本发明公开一种热分解薄膜制备反应装置，石英管进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管，石英管出口端处设有密封套，该密封套连接有尾气收集冷却组件，并在石英管出口端外面套有外冷却管；挡气块由条形连接部和遮挡部构成，其中遮挡部为n形结构，遮挡部的连接边顶部与条形连接部底端固定，该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母。本发明设置用于水平放置衬底的沉积舟，该沉积舟具有热解反应腔，并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定，从而让衬底近表面气流场、温度场恒定，同时又通过加载短波长光线和加电场的方式提高前驱体前驱体气溶胶的“活性”，最终保证热解反应的顺利进行，提高薄膜的成膜质量。

主权项

1.一种热分解薄膜制备反应装置，包括石英管(1)，该石英管的热分解部分位于管式炉(2)的炉腔中，其特征在于：所述石英管(1)进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管(3)，该压缩管的进口端与石英管(1)的进口端之间通过密封结构密封，压缩管(3)的出口端缩口，并在压缩管(3)外壁上套有内冷却管(4)；所述压缩管(3)出口端的外面固套有第一阻热片(5)，该第一阻热片同时与所述石英管(1)的内壁固定并密封；所述石英管(1)出口端处设有密封套(6)，该密封套连接有尾气收集冷却组件，并在石英管(1)出口端外面套有外冷却管(7)；所述石英管(1)出口端的内部同轴设有第二阻热片(8)，该第二阻热片与石英管(1)固定并密封，而第二阻热片(8)与所述第一阻热片(5)之间的石英管(1)内设有沉积舟(C)，该沉积舟用于安装衬底，且沉积舟(C)的位置对应所述管式炉(2)的炉腔；所述沉积舟(C)包括挡片(9)和挡气块(16)，其中挡片(9)数目为两片，这两片挡片(9)沿所述石英管(1)的轴向设置，并通过中间的轴向连接杆(10)相连；两片所述挡片(9)相背对的表面均分别同轴固定有一个固定环(11)，该固定环与对应的挡片(9)之间同轴夹紧有多个开口垫片(12)，这些开口垫片在圆周上相互错位，且开口垫片(12)与所述石英管(1)内壁紧密接触，挡片(9)和固定环(11)与该石英管(1)内壁之间均留有间隙；两片所述挡片(9)中心处对应开有一个缺口，这两个缺口之间插装有上盖板(13)和下盖板(14)；所述上、下盖板(13、14)的两侧分别设有一根高度调整垫条(15)，该高度调整垫条沿石英管(1)的轴向设置，而上、下盖板(13、14)和两根高度调整垫条(15)之间形成一个长方体状的热解反应腔，且衬底放置在所述下盖板(14)上表面；所述挡气块(16)由条形连接部和遮挡部构成，其中遮挡部为n形结构，遮挡部的连接边顶部与所述条形连接部底端固定，该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母(17)，该锁紧螺母安装在其中一个挡片(9)上，从而可以调整挡气块(16)的高度；所述挡气块(16)位于沉积舟(C)的进气端，并可通过挡气块(16)的遮挡部连接边挡住上盖板(13)与对应挡片(9)缺口之间的缝隙，从而防止前驱体气溶胶从该缝隙处泄露。