[发明专利]一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺

摘要

本发明提供一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，包括：将氧化铟粉体及氧化锡粉体混合，得到混合粉体；向混合粉体中加入水、成型剂、分散剂和消泡剂，混合得到料浆；将料浆采用粉浆浇注成型，得到氧化铟锡素坯；氧化铟锡素坯进行一体化脱脂烧结，得到氧化铟锡靶材。采用脱脂烧结一体化工艺，烧结温度降低、烧结时间大大缩短，仅需要5天即可完成从脱脂烧结及降温的整个烧结过程。实现快速活化烧结，抑制晶粒长大，保证制备的氧化铟锡靶材的晶粒细小、均匀，平均晶粒度为4～5μm；致密度高，相对密度可达99.7％以上，具有较高的强度性能，抗弯强度≥200MPa。

主权项

1.一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，其特征在于，将氧化铟锡素坯进行一体化脱脂烧结，得到氧化铟锡靶材；其中，所述氧化铟锡素坯的制备包括：将氧化铟粉体及氧化锡粉体混合，得到混合粉体；向混合粉体中加入水、成型剂、分散剂和消泡剂，混合，得到料浆；所述料浆中混合粉体的质量含量设置在50～80％之间，料浆粘度设置在120～3800mpa.s之间，pH值设置在7～9之间；将料浆采用粉浆浇注成型，得到氧化铟锡素坯，所述氧化铟锡素坯的相对密度设置在58％～72％之间；所述粉浆浇筑成型的注浆压力设置在0.1～0.4MPa之间，注浆保压时间设置在5～20分钟之间；所述一体化脱脂烧结具体包括：在空气氛下以0.1～3℃/min升温速度升温至700～800℃，进行脱脂，保持36～48小时；然后通入氧气，在800℃保温4小时，然后以1～5℃/min升温速率升温至1540～1580℃，进行烧结，保温4～10小时；停止通入氧气，以1～3℃/min降温速度降温至200℃，然后自然冷却至室温。