[发明专利]CIGS玻璃基板镀膜清洗系统

摘要

本发明涉及一种CIGS玻璃基板镀膜清洗系统，其中所述的系统包括输送定位机构、滴液机构、布卷机构、顶升清洗机构以及测量机构，通过上述机构的相互组合及连接组成一可对CIGS玻璃基板镀膜清洗的装置。采用该种结构的清洗系统实现对CIGS玻璃基板的基板玻璃前置工序溢出到背侧的镀膜进行清洗擦除，实现玻璃基板后续的工艺要求，实现上料‑清洗‑测量‑下料过程自动化，基板的输送定位、布卷的供应、清洗液的滴洒、清洗过程以及结果测量均无需人工干预，整个工艺过程节拍快速稳定；清洗完成后测量装置直接贴上CIGS玻璃基板表面进行测量，保证结果准确，操作便捷，提高了工作效率，极大的提高CIGS良品率，减轻现场工作人员的劳动强度。

主权项

1.一种CIGS玻璃基板镀膜清洗系统，其特征在于，所述的系统包括：输送定位机构，用于输送并定位所述的CIGS玻璃基板；滴液机构，用于均匀的滴洒清洗液；布卷机构，清洁布卷置于该布卷机构上，并有该布卷机构带动清洁布卷上的清洁布移动，所述的清洁布卷由所述的清洁布卷叠制成；顶升清洗机构，用于所述的CIGS玻璃基板的清洗；测量机构，用于检验经过清洗后的所述的CIGS玻璃基板是否符合清洗要求；所述的滴液机构、布卷机构及顶升清洗机构共同构成所述的系统中的清洗模块；所述的滴液机构位于所述的布卷机构的上方，所述的顶升清洗机构位于所述的输送定位机构的下方，所述的测量机构位于所述的系统的出口处。