[发明专利]一种防真空泵管路堵塞的方法及化学气相镀膜机

摘要

本发明涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，公开了一种防真空泵管路堵塞的方法，包括如下步骤：打开气源，反应气体从气源通入制程室；制程室中进行化学气相沉膜机镀膜反应；镀膜后，关闭气源，向连接于真空泵出气口的排气管通入加热的惰性气体；打开真空泵，制程室中的粉尘及废气经排气管通入废气处理装置。本发明还公开了一种应用上述防真空泵管路堵塞方法的化学气相镀膜机，包括真空泵、制程室和废气处理装置，以及进气管和排气管，排气管连通有充气管，充气管设置有第一加热装置。本发明公开的防真空泵管路堵塞的方法和化学气相镀膜机，通过向真空泵管路中通入热惰性气体，有效减少粉末在真空泵管路中的附着，改善真空泵管路粉末堵塞现象。

主权项

1.一种防真空泵管路堵塞的方法，其特征在于，包括如下步骤：打开气源，反应气体从所述气源通入制程室；所述制程室中进行化学气相沉膜机镀膜反应；镀膜后，关闭所述气源，向连接于真空泵出气口的排气管通入加热的惰性气体；打开所述真空泵，所述制程室中的粉尘及废气经所述排气管通入废气处理装置。