[发明专利]薄膜蒸镀装置在审
| 申请号： | 201810725430.8 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN110684949A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘宇 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 11606 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜蒸镀装置，包括：靶材固定装置，用于沿第一方向固定设置多个组分不同的靶材；衬底承载装置，用于承载待镀膜的衬底且使所述衬底与所述靶材相对设置；以及加热装置，用于对所述靶材进行加热使所述靶材的材料蒸镀于所述衬底上形成薄膜；所述靶材固定装置与所述衬底承载装置能够使所述靶材与所述衬底沿所述第一方向相对运动。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 衬底 靶材固定装置 衬底承载装置 薄膜蒸镀装置 固定设置 加热装置 相对设置 镀膜 蒸镀 薄膜 加热 承载 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜蒸镀装置，其特征在于，包括：/n靶材固定装置，用于沿第一方向固定设置多个组分不同的靶材；/n衬底承载装置，用于承载待镀膜的衬底且使所述衬底与所述靶材相对设置；以及/n加热装置，用于对所述靶材进行加热使所述靶材的材料蒸镀于所述衬底上形成薄膜；/n所述靶材固定装置与所述衬底承载装置能够使所述靶材与所述衬底沿所述第一方向相对运动。/n
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