[发明专利]基板运送模块以及包括该模块的基板处理系统

摘要

本发明公开了一种基板运送模块，在多个基板安装在托盘的状态下执行基板处理的基板处理模块中将待执行基板处理的多个基板装载到托盘，包括：托盘安装部，安装有直角四边形托盘，所述托盘是以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)装载多个基板；基板装载部，设置在所述托盘安装部的一侧，从载体导出待执行基板处理的多个基板并以n×k行列的基板排列(k为2以上的自然数)布置多个基板；第一基板运送部，具有多个第一基板运送工具，所述第一基板运送工具拾取位于所述基板装载部上的n×k行列的基板排列中一列的n个基板，运送至所述托盘安装部上的托盘。

主权项

1.一种基板运送模块(300)，在多个基板(10)安装在托盘(20)的状态下执行基板处理的基板处理模块中将待执行基板处理的多个基板(10)装载到托盘(20)的基板运送模块(300)，其特征在于，包括：托盘安装部(310)，安装有直角四边形托盘(20)，所述托盘(20)是以n×m行列的基板排列装载多个基板(10)，其中，n为2以上的自然数，m为2以上的自然数；基板装载部(320)，设置在所述托盘安装部(310)的一侧，从载体(30)导出待执行基板处理的多个基板(10)并以n×k行列的基板排列进行布置，其中，k为2以上的自然数；第一基板运送部(330)，具有多个第一基板运送工具(332)，所述第一基板运送工具(332)拾取位于所述基板装载部(320)上的n×k行列的基板排列中一列的n个基板(10)，运送至所述托盘安装部(310)上的托盘(20)；其中，所述基板装载部(320)包括k个装载传送部(322)，所述装载传送部(322)沿着行方向隔着第一中心间距(D)，以对应于所述n×m行列的基板排列的各个列；在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中相邻的列之间的第二中心间距(w)小于所述第一中心间距(D)。