[发明专利]一种微型空间氢探测微传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810730089.5 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109211984A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张剑锋;黄一凡;蒋洪川;杨生胜;薛玉雄;郭睿;郭兴;苗育军;张晨光;乔佳;王光毅;庄建宏 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01K7/18 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李微微;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型空间氢探测微传感器，采用钯镍合金体系作为氢敏感材料，制备钯镍合金电阻氢气敏感器，加工技术简单并易于集成，并有效解决了纯钯作为氢敏感材料的过吸附，拖尾现象和敏感薄膜脱落等缺点；本发明钯镍氢敏感材料设计为图形化的折线形丝状薄膜结构，相对于纯钯材料，钯镍氢敏感薄膜内部可以产生更多的敏感位点以及在微结构中产生空腔及凹陷等，在一定程度上增大了钯镍氢敏感薄膜的比表面积，可以获得更高的信号强度，这是同等条件下其它氢传感器所不能比拟的；该传感器属于空间氢原子原位微型探测器重要组成部分，能够搭载在微纳卫星平台上，探测出极低浓度的氢原子浓度，并且功耗低、体积小、重量轻。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感薄膜 敏感材料 探测 微传感器 微型空间 钯镍合金 氢原子 纯钯 制备 微型探测器 薄膜结构 氢传感器 同等条件 拖尾现象 微纳卫星 有效解决 氢气 敏感器 体积小 图形化 微结构 折线形 重量轻 传感器 凹陷 电阻 功耗 空腔 丝状 位点 吸附 敏感 加工 | ||
【主权项】：
1.一种微型空间氢探测微传感器，其特征在于，包括基底以及其上的氢敏感薄膜、测温电阻以及加热电阻；所述氢敏感薄膜为丝状，迂回分布在所述基底上；所述加热电阻靠近所述氢敏感薄膜分布；所述氢敏感薄膜的材料为钯镍合金材料。
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