[发明专利]一种应用于半导体废气处理设备用等离子电极装置在审
| 申请号： | 201810734094.3 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN108744902A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 崔汉博;崔汉宽 | 申请（专利权）人： | 上海高生集成电路设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 李韵 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于半导体废气处理设备用等离子电极装置，包括连接水头，连接水头下侧通过螺纹连接有进水连接件，进水连接杆下侧安装有导管，导管外侧连接有阴极套，阴极套下端安装有阴极，阴极外侧固定连接有阴极固定环，阴极套外侧固定连接有绝缘套，绝缘套外侧安装有气体旋环，阴极外腔下侧连接有阳极外腔，阳极外腔内部下端设置有磁极套，磁极套内部上下两端安装有磁环，磁环内侧安装有阳极，阳极下端与导水盘进行连接，阳极上端通过阳极外套与阳极外腔进行连接。本发明废气处理效果好，升温快，直接缩短维修保养时间，增加产量，提高经济效益，提高了供气、系统的安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 阴极 外腔 阴极套 下端 半导体废气处理设备 磁极 等离子电极 绝缘套 水头 磁环 导管 废气处理效果 进水连接件 安全性能 螺纹连接 上下两端 维修保养 上端 侧连接 导水盘 固定环 连接杆 进水 旋环 供气 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于半导体废气处理设备用等离子电极装置，包括连接水头，所述连接水头下侧通过螺纹连接有进水连接件，所述进水连接杆下侧安装有导管，所述导管外侧连接有阴极套，其特征在于，所述阴极套下端安装有阴极，所述阴极外侧固定连接有阴极固定环，所述阴极套外侧固定连接有绝缘套，所述绝缘套外侧安装有气体旋环，所述气体旋环外侧安装有阴极外腔内部，所述阴极外腔上侧和进水连接件进行连接，所述阴极外腔下侧连接有阳极外腔，所述阳极外腔内部下端设置有磁极套，所述磁极套内部上下两端安装有磁环，所述磁环内侧安装有阳极，所述阳极安装在阴极的下方固定位置，所述阳极上端通过O型密封圈与阳极外腔进行连接，所述阳极外腔下侧通过螺丝与导气盘进行连接。
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