[发明专利]一种Demura多轴自动检测机构在审
| 申请号： | 201810735111.5 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN108956623A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 龚四羊;罗军 | 申请（专利权）人： | 武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Demura多轴全自动检测机构，其包括机架和CCD相机，机架上设置有移栽模组，移栽模组的活动端连接有连接架，CCD相机连接于连接架下方；连接架与CCD相机之间设置有同轴布置的第一直线滑台、第二直线滑台、摆动滑台和齿轮调焦机构。与传统Demura检测机构相比，本发明结构简单、使用方便，其可使CCD相机沿X轴、Y轴和Z轴方向位移，同时绕X轴、Y轴、Z轴转动，同时实现了全自动调节，且具有焦距调节机构，避免CCD相机沿Z轴方向调整幅度过大造成对焦不精确及损坏相机。 | ||
| 搜索关键词： | 连接架 直线滑台 多轴 模组 移栽 焦距调节机构 自动检测机构 全自动调节 调焦机构 方向调整 方向位移 同轴布置 活动端 摆动 齿轮 对焦 滑台 相机 | ||
【主权项】：
1.一种Demura多轴自动检测机构，包括机架(1)和CCD相机(2)，所述机架(1)上设置有用于驱动所述CCD相机(2)沿竖直Z轴移动的移栽模组(3)，所述移栽模组(3)的活动端连接有连接架(4)，所述CCD相机(2)连接于所述连接架(4)下方；其特征在于：所述连接架(4)与所述CCD相机(2)之间设置有同轴布置的用于驱动所述CCD相机(2)沿水平X轴移动的第一直线滑台(5)、用于驱动所述CCD相机(2)沿竖直Z轴移动的第二直线滑台(8)、用于驱动所述CCD相机(2)绕水平X轴和Z轴旋转的摆动滑台(6)和用于调节所述CCD相机(2)焦距的齿轮调焦机构(7)；所述齿轮调焦机构(7)包括基座(7.1)、驱动源(7.2)、主动齿轮(7.3)和从动齿轮(7.4)；所述基座(7.1)与所述摆动滑台(6)连接，所述基座(7.1)上固接有所述CCD相机(2)和所述驱动源(7.2)，所述驱动源(7.2)的输出端与所述主动齿轮(7.3)固接，所述CCD相机(2)的调焦处固接有所述从动齿轮(7.4)，所述主动齿轮(7.3)和所述从动齿轮(7.4)啮合传动。
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