[发明专利]一种晶圆外观检测机

摘要

本发明公开了一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶端设置有活动板，所述活动板的内部开设有固定槽，所述固定槽的一侧设置有吹尘枪本体，所述吹尘枪本体的一侧设置有安装卡块；本发明通过安装气泵和吹尘枪，通过气泵压缩的空气将气体输送到吹尘枪中，从而对检测台进行清理，吹尘枪通过卡合固定在活动板上，可以将吹尘枪卸下手动进行清理，安装拆卸更加方便，通过转动活动板来改变吹尘枪的清理方向，使得清理效果更好。

主权项

1.一种晶圆外观检测机，包括清理装置，其特征在于：所述清理装置包括固定台（2）、底座（4）、固定板（9）、吹尘枪本体（8）和气泵（14），所述固定台（2）的上表面开设置有固定滑槽（13），所述固定板（9）的底端设置有固定卡块（17），所述固定板（9）和固定台（2）通过卡合连接，所述固定板（9）的顶端设置有活动板（15），所述活动板（15）的内部开设有固定槽（16），所述固定槽（16）的一侧设置有吹尘枪本体（8），所述吹尘枪本体（8）的一侧设置有安装卡块（18），且所述吹尘枪本体（8）的另一侧设置有吹尘枪枪头（12），所述底座（4）的上表面设置有气泵（14），所述气泵（14）和吹尘枪本体（8）通过气管连接。