[发明专利]抛光摩擦力的测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 201810737394.7 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN108608328B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;谢瑞清;赵世杰;周炼;钟波;陈贤华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;G01L5/00;G01L5/16 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种全口径抛光过程中元件所受抛光摩擦力的测量装置。抛光摩擦力的测量装置，包括多个应力测试部件，所述应力测试部件包括U形夹板，在所述U形夹板上设置有应力传感器，在所述应力传感器上设置有信号传输线和承载接触块，所述信号传输线与信号接收器连接，所述信号接收器将数据发送给电脑。本发明能够检测不同形状的元件在不同抛光阶段所受的抛光摩擦力，根据测得的抛光摩擦力即可了解抛光盘的表面粗糙度和材料去除特性，从而指导抛光工艺的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 摩擦力 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.抛光摩擦力的测量装置，其特征在于：包括多个应力测试部件(1)，所述应力测试部件(1)包括U形夹板(5)，在所述U形夹板(5)上设置有应力传感器(10)，在所述应力传感器(10)上设置有信号传输线(11)和承载接触块(12)，所述信号传输线(11)与信号接收器(13)连接，所述信号接收器(13)将数据发送给电脑。
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