[发明专利]清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法有效
| 申请号： | 201810738124.8 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN109248892B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 青山博司;林田彻 | 申请（专利权）人： | 哈里斯股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B1/00;B08B1/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;李罡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法，能高效可靠地清扫薄板表面。清扫系统去除附着于薄板表面的异物，包括：输送薄板的输送装置；以及清扫装置，具有与通过输送装置输送的薄板表面对置地配置的清扫部，清扫装置包括相对移动机构，该相对移动机构在为了清扫而使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下使清扫部反复进行与薄板表面相对的相对性的静止动作和移动动作。优选输送装置向一方向输送利用清扫装置的清扫状态的薄板表面，相对移动机构交替地反复进行一方向的移动动作以及相反方向的移动动作，在移动动作中，由相对移动机构移动的清扫部移动的最大移动速度比由输送装置输送的薄板表面的移动速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 清扫 系统 透明 方法 电子 部件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种清扫系统，去除附着于薄板表面的异物，所述清扫系统包括：输送装置，输送所述薄板；以及清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，所述清扫装置包括相对移动机构，所述相对移动机构在为了清扫而使所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下使所述清扫部反复进行相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈里斯股份有限公司，未经哈里斯股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810738124.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种医药用试管清洗装置
- 下一篇：一种兼容90度和180度的旋转机构
