[发明专利]高纯磷烷规模化连续生产方法和装置的研制在审
| 申请号： | 201810741845.4 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN109133019A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 吴来发 | 申请（专利权）人： | 吴来发 |
| 主分类号： | C01B25/06 | 分类号： | C01B25/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211113 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种制备高纯磷烷规模化连续生产方法和装置的研制，属于电子气体制备纯化技术领域；该方法包括步骤(1)、粗制磷烷的制备过程：先用亚磷酸加热反应得到粗制磷烷；和(2)、高纯磷烷的纯化过程：对粗制磷烷采用液氮冷阱低温真空分离、分子筛吸附干燥和镓‑铟合金深吸附脱水、氧。本发明所述的方法能深度脱除氧、水和碳氢化合物等电子材料中有害杂质，一般可以达到0.01～0.1ppm以下；纯化剂主体镓‑铟合金可以反复使用，使用寿命除化学处理稍许损失外，理论上具有很长的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯磷烷 粗制 磷烷 方法和装置 使用寿命 规模化 铟合金 制备 分子筛吸附 深吸附脱水 碳氢化合物 低温真空 电子材料 电子气体 化学处理 加热反应 液氮冷阱 制备过程 纯化剂 亚磷酸 脱除 | ||
【主权项】：
1.高纯磷烷规模化连续生产方法和装置的研制，包括下述步骤：(1)、粗制磷烷的合成过程：先用亚磷酸加热反应得到粗制磷烷；(2)、高纯磷烷的纯化过程：将步骤(1)中制得的粗制磷烷先用液氮冷阱低温真空分离，得到的挥发磷烷再用分子筛进行吸附干燥，最后采用镓‑铟合金液体深吸附脱水、氧、碳氢化合物，得到高纯磷烷。
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