[发明专利]柔性场发射冷阴极的制备方法及柔性场发射设备在审
申请号: | 201810743187.2 | 申请日: | 2018-07-09 |
公开(公告)号: | CN109065423A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 赵江;项扬军;施庆玲;周紫薇;罗劲松;嵇光晗 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 姚姣阳 |
地址: | 210046 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性场发射冷阴极的制备方法及柔性场发射设备,柔性场发射冷阴极的制备方法包括如下步骤:S1,选取金属锌箔作为柔性衬底;S2,将金属锌箔进行加热处理,使金属锌箔的表面生成氧化锌纳米线阵列,该氧化锌纳米线阵列即为柔性场发射冷阴极。本发明的柔性场发射冷阴极的制备方法简单、成本低、可进行大面积制备。 | ||
搜索关键词: | 场发射冷阴极 制备 金属锌 氧化锌纳米线阵列 场发射设备 加热处理 衬底 | ||
【主权项】:
1.一种柔性场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1,选取金属锌箔作为柔性衬底;S2,将金属锌箔进行加热处理,使金属锌箔的表面生成氧化锌纳米线阵列,该氧化锌纳米线阵列即为柔性场发射冷阴极。
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