[发明专利]一种油位电阻片及其制造方法在审
申请号: | 201810748979.9 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN108987010A | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 何国强;杨理强;欧阳铁英;林瑞芬;练洁兰 | 申请(专利权)人: | 广东风华高新科技股份有限公司 |
主分类号: | H01C17/12 | 分类号: | H01C17/12;H01C17/242;H01C7/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;郝传鑫 |
地址: | 526000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种油位电阻片的制造方法以及利用此方法制造的油位电阻片,该油位电阻片的制造方法包括采用直接镀铜工艺在绝缘基片上电镀形成导体层的步骤;采用黄光微影工艺对导体层进行图形化的步骤;采用磁控溅射工艺形成电阻层的步骤;采用激光修调工艺取得目标阻值的步骤。利用该油位电阻片的制造方法制造的油位电阻片具有精确度高、同时成本更低,油量显示更准确,产品可靠性更好等优点。 | ||
搜索关键词: | 电阻片 油位 制造 磁控溅射工艺 电镀形成导体 黄光微影工艺 产品可靠性 激光修调 绝缘基片 油量显示 导体层 电阻层 图形化 镀铜 | ||
【主权项】:
1.一种油位电阻片的制造方法,其特征在于,所述方法包括:采用直接镀铜工艺在绝缘基片上电镀形成导体层的步骤;采用黄光微影工艺对导体层进行图形化的步骤;采用磁控溅射工艺形成电阻层的步骤;采用激光修调工艺取得目标阻值的步骤。
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