[发明专利]膜厚度测量方法及膜厚度测量装置

摘要

公开了一种膜厚度测量方法及膜厚度测量装置。使估计信号的信号波形与反射光强度信号的信号波形彼此协调，使得估计信号的信号波形中的当膜厚度等于零时的时间点与反射光强度信号的信号波形中的基点彼此一致。将与反射光的信号强度的估计值对应的膜厚度设置为薄膜在期望时间点处的膜厚度，所述反射光的信号强度与估计信号的信号波形中的对应于时间范围的膜厚度范围对应并且与反射光在期望时间点处的信号强度一致。

主权项

1.一种膜厚度测量方法，其特征在于包括：将待测量的挥发性透光膜布置在基板上，并且用来自光源的光照射所述透光膜直到所述透光膜的蒸发结束为止；由光接收元件在规则反射方向上接收所述透光膜的反射光，获取作为所述反射光的信号强度的时序信号的反射光强度信号直到所述透光膜的蒸发结束为止，所述反射光强度信号指示所述信号强度的变化，并且将所获取的反射光强度信号保存到存储装置中；基于所述光源的分光强度、所述光接收元件的分光灵敏度以及所述透光膜的光学常数来估计通过用来自所述光源的光照射所述透光膜而获得的所述反射光的信号强度，并且获取指示随着所述透光膜的膜厚度变化所述反射光的信号强度的估计值的变化的估计信号；基于从作为所述透光膜的蒸发结束的时间点的基点到期望时间点所述反射光强度信号的信号波形中的峰的数目来指定所述期望时间点存在的时间范围；使所述估计信号的信号波形与所述反射光强度信号的信号波形彼此协调，使得所述估计信号的信号波形中的当所述膜厚度等于零时的时间点与所述反射光强度信号的信号波形中的所述基点彼此一致，并且基于所述估计信号的信号波形中的峰的数目来指定所述估计信号的信号波形中的与所述时间范围对应的膜厚度范围；以及获取所述反射光在所述期望时间点处的信号强度，并且将对应于与落入所述膜厚度范围内的膜厚度对应并且与所述反射光在所述期望时间点处的信号强度一致的所述反射光的信号强度的估计值的膜厚度设置为所述透光膜在所述期望时间点处的膜厚度。