[发明专利]一种分段式等离子体束扫描装置有效
| 申请号： | 201810754776.0 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110718436B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 张喻召 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分段式等离子体束扫描装置，包括：前极板、中间极板、后极板、绝缘瓷柱、运动轴。三对扫描电极板可以单独加独立的电压；三对电极板可以沿运动轴方向运动，从而控制电极板之间的距离。在离子注入过程中，扫描电极用于将等离子体束流宽带化。当高能离子束通过扫描板时，可以减小扫描板之间的距离，从而减小所需要的扫描电源的电压；在低能离子束通过扫描板时，可以增大扫描板之间的距离，使低能扫描板上电压不至于太小，减小电压波动对于离子束注入的影响。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 段式 等离子体 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.一种分段式等离子体束扫描装置，包括：前极板(1)、中间极板(2)、后极板(3)、永磁体(4)、绝缘瓷柱(5)运动轴。其特征在于采用三对分开的扫描电极结构，每对扫描电极板可以单独加独立的电压。/n
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